1. Tiếp tục tiến hành setup lại máy lau mask tự động, cài đặt thông số hợp lý, xác nhạn hiệu quả lau mask.2. Sử dụng cồn mới, không sử dụng cồn cũ ảnh hưởng tới chất lượng lau, gây tắc ống dẫn.3, Line 2,3-F, 3-R,4 có thể sử dụng lau mask tự động bình thường